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洁净室净化等级说明

等级ISO空气洁净

大于或等于表中粒径的浓度限值(P/m -空气)

洁净等级美国联邦209E

0.1um

0.2um

0.3um

3520

832

29

100

ISO Class6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000

ISO Class7

352000

83200

2930

10000

ISO Class8

3520000

832000

29300

100000

ISO Class9

35200000

8320000

293000

300000

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